早期的热式气体质量流量计直接将加热线圈和测温元件放入液体中与液体接触，是一种接触式流量计，由于现场环境中普遍存在腐蚀、磨损及防爆问题，使它在工业应用中受到很大限制。到 20 世纪 50 年代，人们又提出了不接触液体的边界层流量计，克服了接触式流量计的缺点，但测量结果受介质参数(如热导率、比率、粘度)以及环境的震动等因素的影响。
到 20 世纪 70 年代，基于测量液体温度分布的热分布型 tmf，优点很多，但只适用于小管径测量。此后，人们又设计了一种插入式热式气体质量流量计，它在国内得到了迅猛的发展，可以用来测量大管径的气体流量。
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